应用领域：
（1）、环境样品分析，包括自来水、地表水、地下水、海水以及各种土壤、废弃物等的分析
（2）、半导体材料分析
（3）、玻璃、陶瓷和矿冶等样品分析
（4）、地质学研究
（5）、生物食品及医药临床研究
（6）、核材料分析
（7）、石油化工样品分析
（8）、法医应用与研究
近，与分离技术联用进行环境毒理、生命科学等领域的元素价态、形态分析成为ICP-MS技术应用的一个焦点。
二手安捷伦质谱仪ICP-MS 7500
分析特性：
（1）、可快速同时检测周期表上元素
（2）、的检出限（低至ppq级）
（3）、分析效益/成本比
（4）、宽的线性动态范围—可直接检测从ppq到数百ppm浓度
（5）、谱线简单、干扰，准确度和精密度好
（6）、需要样品量很低(ul至ml)，分析速度很快（1～3分钟/样品）
（7）、检测模式灵活多样
（8）、半导体工业常用材料中超痕量污染物分析
固体：Si；GaAa单晶切片；石英、碳化硅等炉材料；高纯金属电极等
液体：超纯水；HF；HNO3；HCI；H2SO4；H2O2；氨水等
气体：SiH4；TE0S；NF3；N2等
（9）、Agilent ICP-MS 7500 可直接分析样品。
对其中一些样品，其他方法无法得到满意的结果，高功率屏蔽矩冷等离子体技术是的分析方法。
强碱性清洗剂——四甲基氢氧化氨(TMAH)等
常用溶剂——甲苯、二甲苯、IPA等
高基体样品——光刻胶、液晶、BPSG、PSG等挥发性极强的清洗剂——丙酮、甲醇等
